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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 真空泵養護維修

單級旋片式真空泵的真空度只能到達1*10-2托，不能到達再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空間”，空間中的氣體是無(wú)法排除的。當旋片轉過(guò)排氣口后，這一有些氣體又被緊縮，經(jīng)過(guò)轉子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以，“有害空間”越小，泵極限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問(wèn)，兩者間存在著(zhù)必定的壓強差。當排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí)，壓弧很高，會(huì )經(jīng)過(guò)各種可能的路徑打破到吸氣空間去，使真空度下降。真空泵養護維修

3、泵油在泵體內循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì )溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間，因為壓強較低，溶解的氣體又會(huì )跑出來(lái)，使泵的真空度不易進(jìn)步。

為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉子、旋片的加工精度，盡量削減安裝空隙和有害空間以外，真空可以認為zui有用的辦法是將兩只單級泵串接起來(lái)，組合成雙級泵。這樣，極限真空度將提高，可達10-4托(進(jìn)口真空泵可到達10-5托)。真空泵養護維修

　　渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉子和定子組成。旋轉圓盤(pán)和固定圓盤(pán)交叉排列，一個(gè)轉子盤(pán)和一個(gè)定子盤(pán)組成一個(gè)泵級。轉子轉動(dòng)得越快，抽吸效果就越顯著(zhù)?，F代泵的轉速已高達90 000 min-1，圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機轉速就能達到142 m/s。真空泵養護維修

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修

渦輪分子泵可短時(shí)承受大氣的沖擊，并有啟動(dòng)快、制動(dòng)快、比較潔凈的優(yōu)點(diǎn)。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時(shí)泵的排氣量幾乎是定的，這時(shí)只與前級泵的大小有關(guān);在這個(gè)范圍內可忽略抽速的不穩定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴散泵所不具備的。這一特點(diǎn)，對于要求先抽到高真空，然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統內以連續氣流工作的濺射薄膜沉積來(lái)說(shuō)是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修

在這個(gè)特殊管道中，蒸汽經(jīng)過(guò)噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個(gè)區域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現一個(gè)負壓區。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的大壓強(反壓強)低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修

此時(shí)，被抽氣體吸進(jìn)混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉變來(lái)的動(dòng)能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動(dòng)時(shí)是降速增壓的?；旌蠚饬髟跀U壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。阿爾卡特渦輪分子泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 進(jìn)口真空泵維修

 泵殼內注有循環(huán)水，在抽真空時(shí)，葉輪旋轉，在離心力的作用下，泵殼內的循環(huán)水被甩至葉輪四周，在泵殼內壁形成一個(gè)旋轉水環(huán)。又因葉輪是偏心安裝在泵殼內的，因此水環(huán)與牙狀葉片之間形成的空間大小不同。進(jìn)口真空泵維修

飛輪變形或螺桿磨損

長(cháng)期使用后，泵內部機械部件可能出現變形或損壞，從而影響泵的效率和性能。如飛輪變形或螺桿磨損，會(huì )導致泵的振動(dòng)、噪音和效率下降，此時(shí)需要拆除故障部件并更換新的零部件。進(jìn)口真空泵維修

真空泵的工作壓力應該滿(mǎn)足工藝工作壓力要求，選型時(shí)真空度要高于真空設備真空度的半個(gè)到一個(gè)數量級。(如：真空工藝要求100Pa的真空度，選用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue對壓強高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果jue對壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。

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